• 专利标题: 单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法
  • 专利标题(英): Method for preparing high-porosity ceramic cement grinding wheel for polishing silicon single crystal rods
  • 申请号: CN201010579583.X
    申请日: 2010-12-09
  • 公开(公告)号: CN102092010B
    公开(公告)日: 2012-04-25
  • 发明人: 郭兵健
  • 申请人: 郭兵健
  • 申请人地址: 浙江省湖州市长兴县经济开发区县前东街1299号长兴众成电子有限公司
  • 专利权人: 郭兵健
  • 当前专利权人: 浙江中晶科技股份有限公司
  • 当前专利权人地址: 浙江省湖州市长兴县经济开发区县前东街1299号长兴众成电子有限公司
  • 代理机构: 长沙正奇专利事务所有限责任公司
  • 代理商 马强
  • 主分类号: B24D3/18
  • IPC分类号: B24D3/18 B24D18/00
单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法
摘要:
一种单晶硅棒抛光用高孔隙率陶瓷结合剂砂轮制备方法,步骤为:将海绵板按所需砂轮规格裁剪,再清洗干燥待用;将金刚石磨料与硼玻璃粉、长石粉、石英粉按一定质量比在球磨条件下混合均匀后,与水玻璃溶液按比例配成陶瓷浆料;将海绵板放入密闭容器中抽真空,用导管向容器中导入陶瓷浆料浸渍海绵板,保压;取出浸渍有陶瓷浆料的海绵板,干燥,擦去表面多余浆料,再干燥;重复浸渍、干燥步骤2次;将浸渍完全的海绵板在80℃烘箱中干燥24小时,放入井式炉,用白刚玉完全掩埋,在N2保护下烧结,700℃保温1小时,随炉冷却;将烧结后的砂轮坯体进行外圆、内圆和平面加工,即得。本方法可制备出组织结构一致,孔隙含量高于60%的金刚石砂轮。
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