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旋转式平台传输装置
摘要:
本发明提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输装置,包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔,垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上,其输出端与下升降板连接,下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定,下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定,上端滑动穿过机架并与上升降板固定,导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板,底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动,底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本发明能提高基片的传输质量及精度并降低传输成本。
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