发明授权
CN102092584B 旋转式平台传输装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 旋转式平台传输装置
- 专利标题(英): Rotary platform transmitting device
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申请号: CN201010502321.3申请日: 2010-09-30
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公开(公告)号: CN102092584B公开(公告)日: 2012-10-17
- 发明人: 杨明生 , 郭业祥 , 刘惠森 , 范继良 , 王曼媛 , 王勇 , 张华
- 申请人: 东莞宏威数码机械有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
- 专利权人: 东莞宏威数码机械有限公司
- 当前专利权人: 东莞宏威数码机械有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
- 代理机构: 广州三环专利代理有限公司
- 代理商 张艳美; 郝传鑫
- 主分类号: B65G49/05
- IPC分类号: B65G49/05 ; H01L51/56
摘要:
本发明提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输装置,包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔,垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上,其输出端与下升降板连接,下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定,下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定,上端滑动穿过机架并与上升降板固定,导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板,底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动,底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本发明能提高基片的传输质量及精度并降低传输成本。
公开/授权文献
- CN102092584A 旋转式平台传输装置 公开/授权日:2011-06-15
IPC分类: