碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法
Abstract:
本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有盲孔;三个电极相互隔离。方法包括:1)放置三个不同极间距传感器;2)在电极上施加电压;3)测量各传感器离子流值;4)测得值与单一气体浓度、温度、湿度标定值组成样本,并与插值样本,构建气体浓度测量数据库;5)构建数据融合仪,建立单一气体浓度准确测量模型;6)传感器实测值输入测量模型,获得单一气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高,线性度好,准确度高。
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