Invention Grant
- Patent Title: 多倍率成像光学系统
- Patent Title (English): Multi-magnification imaging optical system
-
Application No.: CN201010613402.0Application Date: 2010-12-30
-
Publication No.: CN102096192BPublication Date: 2013-01-16
- Inventor: 王忠生 , 汤建华
- Applicant: 长春光华微电子设备工程中心有限公司
- Applicant Address: 吉林省长春市经济技术开发区营口路77号
- Assignee: 长春光华微电子设备工程中心有限公司
- Current Assignee: 佛山中科灿光微电子设备有限公司
- Current Assignee Address: 吉林省长春市经济技术开发区营口路77号
- Agency: 长春菁华专利商标代理事务所
- Agent 王淑秋
- Main IPC: G02B27/00
- IPC: G02B27/00 ; G02B27/10 ; G02B1/10
Abstract:
本发明涉及一种多倍率成像光学系统,该系统包括光源,N个倍率光路;所述光源可输出N个不同波长的光束,物体反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。当光源输出第一波长的光束时,物体反射的光经第一倍率光路后成像于像面;当光源输出第二波长的光束时,物体反射的光经第二倍率光路后成像于像面;依此类推,当光源输出第N波长的光束时,物体反射的光经第N倍率光路后成像于像面。本发明采用控制光源输出不同波长的光束,使物体经过不同倍率的光路成像于像面的方法,实现倍率的切换,光学系统重量轻,切换速度快,去除了机电组件的不稳定性和振动对整个系统的影响,可靠性好,光路能量损失小。
Public/Granted literature
- CN102096192A 多倍率成像光学系统 Public/Granted day:2011-06-15
Information query