发明公开
- 专利标题: 调整机构
- 专利标题(英): Adjusting mechanism
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申请号: CN200910247416.2申请日: 2009-12-29
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公开(公告)号: CN102109778A公开(公告)日: 2011-06-29
- 发明人: 马佳 , 马喜宝
- 申请人: 上海微电子装备有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
- 申请人地址: 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G03F9/00
- IPC分类号: G03F9/00 ; G03F7/20
摘要:
本发明提出了一种调整机构,包括从下到上设置的底座、X向结构、θ向结构和Y向结构。X向结构包括X向定位调整模块、X向调整元件和X向滑板;θ向结构包括θ向定位调整模块、θ向调整元件和定位杆;以及Y向结构包括Y向定位调整模块、Y向调整元件和Y向滑板。本发明是基于调整元件的转动来带动各轴的运动。三个方向的结构有机的结合在一起,同时又互不干扰。本机构易于加工制造,且制造成本低,装配简单、可靠。能够调整自身的水平度,并能实现水平面上X向、Y向和θ向的位置调整,操作简单。降低了对安装面的水平度和定位精度等方面的要求,并且在系统集成调试的过程中,可以根据实际需要进行六自由度的位置调整。
公开/授权文献
- CN102109778B 调整机构 公开/授权日:2013-07-17