半导体装置的修复电路和修复方法
摘要:
本发明提供一种半导体装置的修复电路,包括:多个穿通硅通孔,包括具有一个修复穿通硅通孔和M个正常穿通硅通孔的重复的组;发送单元,被配置为基于控制信号,以第一多路复用比对输入数据进行多路复用,并将多路复用的数据传输至多个穿通硅通孔;接收单元,被配置为基于控制信号,以第二多路复用比对经由多个穿通硅通孔传输的信号进行多路复用,并产生输出数据;以及控制信号发生单元,被配置为基于测试信号的输入次数来产生控制信号的组。
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