Invention Grant
- Patent Title: 切割集成电路的系统和方法
- Patent Title (English): A system and process for dicing integrated circuits
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Application No.: CN200880129952.6Application Date: 2008-05-30
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Publication No.: CN102113087BPublication Date: 2014-07-30
- Inventor: 林仲振 , 白承昊 , 丁锺才 , 张德春 , 李锡璨
- Applicant: 洛克企业有限公司
- Applicant Address: 新加坡加基武吉
- Assignee: 洛克企业有限公司
- Current Assignee: 上海珞科半导体有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区浦东大道2123号3楼
- Agency: 深圳中一专利商标事务所
- Agent 张全文
- International Application: PCT/SG2008/000200 2008.05.30
- International Announcement: WO2009/128786 EN 2009.10.22
- Date entered country: 2010-12-14
- Main IPC: H01L21/00
- IPC: H01L21/00 ; H01L21/304

Abstract:
本发明提供了一种用于将多个基板切割成单个集成电路单元的组件,该组件包括:第一块体,用于接收第一基板,所述第一块体可在第一加载位置、第一对位检测工站和第一切割区之间移动;第二块体,用于接收第二基板,所述第二块体可在第二加载位置、第二对位检测工站和第二切割区之间移动;切割装置,用于切割基板成单个集成电路单元,所述切割装置可在所述第一切割区和所述第二切割区之间移动;对位检测装置,用于确定固定在第一块体或第二块体上的基板的对位,所述对位检测装置可在所述第一对位检测工站和所述第二对位检测工站之间移动。
Public/Granted literature
- CN102113087A 切割集成电路的系统和方法 Public/Granted day:2011-06-29
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IPC分类: