Invention Grant
- Patent Title: 一种不挥发信息存储单元
- Patent Title (English): Non-volatile information storage unit
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Application No.: CN201010605698.1Application Date: 2010-12-15
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Publication No.: CN102142444BPublication Date: 2012-09-05
- Inventor: 贾泽 , 张明明 , 张乃文 , 任天令
- Applicant: 清华大学
- Applicant Address: 北京市100084-82信箱
- Assignee: 清华大学
- Current Assignee: 清华大学无锡应用技术研究院,清华大学
- Current Assignee Address: 北京市100084-82信箱
- Agency: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- Agent 黄家俊
- Main IPC: H01L27/115
- IPC: H01L27/115 ; H01L29/06
Abstract:
本发明公开了信息存储技术领域中的一种不挥发信息存储单元。该单元包括一种衬底材料,在衬底上制备一种金属材料作为下电极,铁电材料制备在下电极金属上,在铁电材料上制备有氧化物半导体材料,在半导体材料上制备有接触电极并形成源漏区域。该结构中制备在金属电极上的铁电材料结晶温度低并且极化特性好,氧化物半导体在铁电材料上制备可以避免铁电材料的高温结晶过程对半导体特性的影响。本发明中器件的制备工艺简单,可以降低成本,易于实现产业化。
Public/Granted literature
- CN102142444A 一种不挥发信息存储单元 Public/Granted day:2011-08-03
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IPC分类: