一种差容式微振动传感器
摘要:
本发明涉及一种差容式微振动传感器,该传感器由一块金属电容动极板,上下两块电容定极板及两块金属垫片组成两个随基座振动而差动变化的敏感电容,敏感质量块直接由金属电容动极板的外环区域构成,无需附加敏感质量块,敏感质量块通过不少于3个的沿圆周均匀分布的弧形弹性悬臂与紧固在安装立柱上的固定区域相连,阻尼孔沿敏感质量块的中径圆周方向均匀分布,电容定极板的基体为陶瓷材料,在相互绝缘的外环区域和内环区域涂覆导电金属薄膜,外环区域的金属薄膜用以形成敏感电容的固定电极并从侧面直接焊接引线,内环区域的金属薄膜用以将动极板与地导通,本发明传感器具有灵敏度高,频率特性好,抗过载和冲击能力强,结构简单的优点。
公开/授权文献
0/0