发明授权
- 专利标题: 集成惯性传感器与压力传感器及其形成方法
- 专利标题(英): Integrated inertial sensor and pressure sensor and forming method thereof
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申请号: CN201110061470.5申请日: 2011-03-15
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公开(公告)号: CN102183677B公开(公告)日: 2012-08-08
- 发明人: 柳连俊
- 申请人: 迈尔森电子(天津)有限公司
- 申请人地址: 天津市南开区宾水西道奥城商业广场A3-518室
- 专利权人: 迈尔森电子(天津)有限公司
- 当前专利权人: 迈尔森电子(天津)有限公司
- 当前专利权人地址: 天津市南开区宾水西道奥城商业广场A3-518室
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; G01P3/44 ; G01L1/14 ; B81B3/00 ; B81C1/00
摘要:
一种集成惯性传感器与压力传感器及其形成方法,其中集成惯性传感器与压力传感器包括:第一衬底,第二衬底和第三衬底;位于第一衬底的第一表面的至少一层或者多层导电层;惯性传感器的可移动敏感元素,采用第一区域的第一衬底形成;所述第二衬底与第一衬底上的导电层的表面结合;所述第三衬底与第一衬底形成的惯性传感器的可移动敏感元素的一侧结合,且所述第三衬底和第二衬底位于所述可移动敏感元素的相对两侧;敏感薄膜至少包括第二区域的第一衬底、或者导电层中的一层。通过采用第一衬底形成惯性传感器的可动电极、采用第一衬底或者导电层形成压力传感器的敏感薄膜,形成的集成压力传感器和惯性传感器的体积较小,成本低,而且封装后可靠性高。
公开/授权文献
- CN102183677A 集成惯性传感器与压力传感器及其形成方法 公开/授权日:2011-09-14
IPC分类: