发明授权
- 专利标题： 压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法
- 专利标题（英）： Piezoelectric vibrator, oscillator, electronic apparatus and radio clock, and method for manufacturing piezoelectric vibrator
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申请号： CN200880131834.9申请日： 2008-08-27
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公开(公告)号： CN102197586B公开(公告)日： 2014-03-05
- 发明人: 福田纯也
- 申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 申请人地址： 日本千叶县千叶市
- 专利权人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 当前专利权人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本千叶县千叶市
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 何欣亭; 王忠忠
- 国际申请： PCT/JP2008/065249 2008.08.27
- 国际公布： WO2010/023730 JA 2010.03.04
- 进入国家日期： 2011-04-27
- 主分类号： H03H3/02
- IPC分类号： H03H3/02 ; H03H9/02 ; H03H9/19 ; H03H9/215
摘要：
本发明的压电振动器，其中包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，其具有平行延伸的一对振动腕部、使该一对振动腕部振动的一对激振电极、和与该一对激振电极电连接的装配电极，通过该装配电极在空腔内装配在基底基板上；绝缘膜，以覆盖激振电极的方式成膜在压电振动片上；以及吸气材料，以配置在空腔内的方式形成在基底基板或盖基板的任一个基板，该吸气材料由通过加热提高空腔内的真空度的金属材料构成。
公开/授权文献
- CN102197586A 压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法 公开/授权日：2011-09-21
