本发明公开了一种可限位锁止的静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。为克服现有技术中静电驱动微夹持器存在不带限位锁止功能、不能离线工作等缺点，本发明提出的可限位锁止的静电驱动微夹持器，在微夹持器的活动梳齿、固定梳齿分别施加不同的驱动电压，活动梳齿在静电力驱动下带动微夹持臂摆动实现微夹持器的开合动作，当微夹持器完成加持动作时，进行限位锁止，如此以来，静电驱动微夹持器可以停电离线工作，可长时间夹持物体。