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公开(公告)号：CN105047525B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201510124275.0
申请日：2015-03-20
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明是属于集成电路和微纳电子机械系统制造领域，特别是一种高深宽比纳米结构阵列的制造方法。该方法需要制备高深宽比柔性纳米纤毛结构的软模板，软膜版以PDMS为浇注材料；复制高深宽比柔性纳米纤毛阵列的模板。以压印过的PDMS为模板，采用紫外光固化胶OrmoStamp材料进行压印，这样就得到了和硅模具上一样的柔性结构。本发明的有益效果是：针对高深宽比柔性纳米结构的制造难点，提出了基于PDMS和紫外光固化胶OrmoStamp两种柔性材料，通过两次压印的方法，实现高深宽比纳米纤毛阵列的柔性制造，为高深宽比柔性纳米结构的制造提供重要的技术支持。
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公开(公告)号：CN106115613A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610584610.X
申请日：2016-07-22
申请人： 西北工业大学
CPC分类号： B81C1/00349 , B81C1/00642 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种大面积单层致密纳米晶体微球自组装方法、装置及装置的使用方法，属于薄膜制备领域。该纳米微球薄膜组装方法结合旋涂和气‑液界面组装技术优点，分两步主动调节单层致密纳米微球薄膜的成形过程，即：通过旋涂，确保在基底上形成单层纳米层，再将基底上的单层纳米层剥离在液面，通过添加表面活性剂推挤，使不连续的单层纳米组装成致密纳米薄膜，完成大面积单层致密纳米微球薄膜的组装过程。该方法还可以通过最后降低液面，将该单层膜转移到第二基底上。该方法很大程度提高了单层纳米微球薄膜的成膜质量、其成本低廉、操作简单，适用于不同直径的纳米小球组装。
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公开(公告)号：CN106342284B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200810076417.0
申请日：2008-08-18
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G05D1/08
摘要： 本发明公开了一种飞行载体姿态确定方法，属姿态测量领域。主要步骤包括：建立飞行载体的坐标系及姿态矩阵；采集传感器信号；利用陀螺测量值进行捷联姿态解算，得到飞行载体的姿态四元数及姿态角；利用磁强计测量值解算飞行载体航向角；利用速度信息对加速度测量值补偿，求解俯仰角和横滚角；求解由磁强计及加速度计信息确定的姿态四元数；设计卡尔曼滤波器，估计状态向量；校正姿态四元数及提取姿态角。本方法将陀螺、加速度计、磁强计、速度传感器组合，满足飞行载体实时性姿态控制的要求；将陀螺漂移引入到系统状态向量中，对其实时估计校正，同时采用磁强计测量值直接计算航向角，避免地磁场矢量在地理坐标系下的计算，提高了姿态确定的精度。
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公开(公告)号：CN102198656A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110100486.2
申请日：2011-04-21
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： B25J7/00
摘要： 本发明公开了一种可限位锁止的静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。为克服现有技术中静电驱动微夹持器存在不带限位锁止功能、不能离线工作等缺点，本发明提出的可限位锁止的静电驱动微夹持器，在微夹持器的活动梳齿、固定梳齿分别施加不同的驱动电压，活动梳齿在静电力驱动下带动微夹持臂摆动实现微夹持器的开合动作，当微夹持器完成加持动作时，进行限位锁止，如此以来，静电驱动微夹持器可以停电离线工作，可长时间夹持物体。
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公开(公告)号：CN102121859A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201010577639.8
申请日：2010-12-02
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种可对壁面剪应力进行流场非破坏性测量的微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法，属于传感器技术领域。包括感测部分1、弹性变形部分2、基底6以及位于弹性变形部分2上的压敏电阻、导线和焊盘；该装置通过基底6安装固定在待测结构7上，感测部分1的上表面与待测结构7的被测表面平齐。本发明提出的微型压阻式壁面剪应力测量装置可以达到较好的综合性能：(1)高灵敏度；可以大幅度降低弹性变形部分2的弯曲刚度，从而可以使装置具有较高测量灵敏度。(2)制作环节和工艺简单；只需要常规的微加工工艺，降低了制作成本，提高了工艺的可靠性和可控制性。(3)能够对流场进行非侵入式的壁面剪应力测量。
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公开(公告)号：CN101551835B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910134186.9
申请日：2009-04-15
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方位微结构相对参考微结构的力与位移之间的转换方程；最后，将力与位移之间的转换方程代入宏模型的行为方程中，实现MEMS的角度参数化宏建模。本发明采用矩阵坐标变换方法实现角度参数化的宏建模，通过设置相应的角度参数，即可避免结构完全相同，初始方位不同的MEMS微结构的重复宏建模过程，从而使基于宏模型的MEMS系统级建模与仿真速度加快，进而提高整个MEMS的设计效率。
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公开(公告)号：CN101551835A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910134186.9
申请日：2009-04-15
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种微机电系统的角度参数化宏建模方法，属于微机电系统设计与模型降阶领域。该方法首先从相同几何形状的微结构中任意选取一个作为参考微结构，采用数值降阶方法提取其宏模型；然后根据微结构方位之间的关系，采用矩阵坐标变换方法建立其它方位微结构相对参考微结构的力与位移之间的转换方程；最后，将力与位移之间的转换方程代入宏模型的行为方程中，实现MEMS的角度参数化宏建模。本发明采用矩阵坐标变换方法实现角度参数化的宏建模，通过设置相应的角度参数，即可避免结构完全相同，初始方位不同的MEMS微结构的重复宏建模过程，从而使基于宏模型的MEMS系统级建模与仿真速度加快，进而提高整个MEMS的设计效率。
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公开(公告)号：CN108519189B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201810242590.7
申请日：2018-03-23
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种恒温式热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统的设计，属于传感器测量仪器领域。本发明所采用的技术方案包括：一种热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统的硬件电路设计、算法设计。硬件电路由固定电阻1、柔性热膜剪应力微传感器4、模拟运算放大器6、仪表运算放大器7、模拟乘法器8、微控制器9、低噪声放大器10组成。算法设计包括阈值的设定、积分环节的设计和比例环节的设计。本发明提出的恒温式热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统，通过四线制测量传感器电阻值的设计形式，大幅降低了热膜剪应力微传感器的引线电阻所造成的测量误差，降低了热膜剪应力微传感器在实际应用过程中的标定难度；同时，通过微控制器9中算法的动态实时调节，避免了传统设计方案由于流场流速发生大范围变化时进入自激状态而无法正常工作的问题。
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公开(公告)号：CN108519189A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810242590.7
申请日：2018-03-23
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种恒温式热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统的设计，属于传感器测量仪器领域。本发明所采用的技术方案包括：一种热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统的硬件电路设计、算法设计。硬件电路由固定电阻1、柔性热膜剪应力微传感器4、模拟运算放大器6、仪表运算放大器7、模拟乘法器8、微控制器9、低噪声放大器10组成。算法设计包括阈值的设定、积分环节的设计和比例环节的设计。本发明提出的恒温式热膜剪应力微传感器闭环反馈控制系统，通过四线制测量传感器电阻值的设计形式，大幅降低了热膜剪应力微传感器的引线电阻所造成的测量误差，降低了热膜剪应力微传感器在实际应用过程中的标定难度；同时，通过微控制器9中算法的动态实时调节，避免了传统设计方案由于流场流速发生大范围变化时进入自激状态而无法正常工作的问题。
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公开(公告)号：CN106185792A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610585459.1
申请日：2016-07-22
申请人： 西北工业大学
CPC分类号： B81C1/00214 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种超疏水微纳复合结构的全参数可控制备方法，属于微纳结构制备技术领域。该方法是将微米结构和纳米结构制备结合起来，通过分层制备，即通过光刻实现微米结构制备，通过胶体软刻蚀和体硅刻蚀实现纳米结构制备，微米和纳米结构的复合是通过纳米微球掩膜与微米结构阵列复合来实现的。该方法为微纳结构超疏水表面的科学研究和工程实践提供了研究基础，有效的将材料表面的宏观现象与微观结构联系起来，为定量、定性的探索超疏水表面的物理化学性质提供了基础。该方法是将胶体软刻蚀与体硅刻蚀结合起来，工艺可控性强，操作简单，成本低廉，加工精度高。
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