发明公开
CN102201494A 一种具有光电特性的TbMnO3异质结的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种具有光电特性的TbMnO3异质结的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing TbMnO3 heterogeneous junction with photoelectric characteristic
-
申请号: CN201110095702.9申请日: 2011-04-15
-
公开(公告)号: CN102201494A公开(公告)日: 2011-09-28
- 发明人: 崔益民 , 王荣明
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 代理机构: 北京慧泉知识产权代理有限公司
- 代理商 王顺荣; 唐爱华
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; C23C14/08 ; C23C14/28
摘要:
一种具有光电特性的TbMnO3异质结的制备方法,它是在0.5毫米厚的n型导电掺铌钛酸锶Nb-SrTiO3基片上外延生长100-150nm厚的TbMnO3薄膜,在二者界面处形成TbMnO3/Nb-SrTiO3异质结;该方法有五大步骤:一、用固相反应法高温烧结出TbMnO3靶材:二、利用脉冲激光沉积方法制备薄膜;三、把TbMnO3薄膜放置于双束系统中,进行镓离子注入;四、运用X射线衍射仪表征薄膜的微结构,分析薄膜的外延生长方向;五、薄膜上溅射铂作上电极,基片为下电极,采用测试仪进行电压电流特性测量和光调制。本发明构思科学,工艺先进,在电子技术工程技术领域里具有实用价值和广阔地应用前景。
公开/授权文献
- CN102201494B 一种具有光电特性的TbMnO3异质结的制备方法 公开/授权日:2013-08-28
IPC分类: