本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的排气性能。