一种有源矩阵有机发光二极管器件的制造方法
摘要:
本发明提供一种有源矩阵有机发光二极管器件制造方法,包括:形成多晶硅基板,构图形成下电极和第一导电层;沉积栅绝缘层和第一金属层,通过掩膜构图形成第一栅极、第二栅极和下电极;在第一导电层部分区域形成轻掺杂结构;沉积隔离层,通过掩膜进行刻蚀形成第一、第二和第三通孔,贯穿隔离层和栅绝缘层;沉积第二金属层,通过掩膜进行构图形成源极和漏极、第二导电层及第一、第二和第三导电柱;形成半导体层以连接第一源极和漏极;沉积第一和第二平坦层,通过掩膜进行刻蚀形成第四、第五和第六通孔,贯穿第一和第二平坦层;沉积第二导电层,通过掩膜进行构图形成第一、第二和第三电极。采用本发明省略n型掺杂和二次刻蚀过程,可以节约成本。
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