发明公开
- 专利标题: 一种有源矩阵有机发光二极管器件的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing active matrix organic light-emitting diode (AMOLED) apparatus
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申请号: CN201110151999.6申请日: 2011-06-01
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公开(公告)号: CN102222644A公开(公告)日: 2011-10-19
- 发明人: 邱大维 , 黄彦士 , 孙铭伟
- 申请人: 友达光电股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号
- 专利权人: 友达光电股份有限公司
- 当前专利权人: 友达光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 曾红
- 主分类号: H01L21/77
- IPC分类号: H01L21/77 ; H01L21/84 ; H01L51/56
摘要:
本发明提供一种有源矩阵有机发光二极管器件制造方法,包括:形成多晶硅基板,构图形成下电极和第一导电层;沉积栅绝缘层和第一金属层,通过掩膜构图形成第一栅极、第二栅极和下电极;在第一导电层部分区域形成轻掺杂结构;沉积隔离层,通过掩膜进行刻蚀形成第一、第二和第三通孔,贯穿隔离层和栅绝缘层;沉积第二金属层,通过掩膜进行构图形成源极和漏极、第二导电层及第一、第二和第三导电柱;形成半导体层以连接第一源极和漏极;沉积第一和第二平坦层,通过掩膜进行刻蚀形成第四、第五和第六通孔,贯穿第一和第二平坦层;沉积第二导电层,通过掩膜进行构图形成第一、第二和第三电极。采用本发明省略n型掺杂和二次刻蚀过程,可以节约成本。
IPC分类: