发明授权
CN102230216B 单晶金刚石的层流等离子体的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 单晶金刚石的层流等离子体的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of laminar plasma of single crystal diamond
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申请号: CN201110164532.5申请日: 2011-06-19
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公开(公告)号: CN102230216B公开(公告)日: 2012-11-14
- 发明人: 陈广超
- 申请人: 中国科学院研究生院
- 申请人地址: 北京市石景山区玉泉路19号(甲)
- 专利权人: 中国科学院研究生院
- 当前专利权人: 中国科学院研究生院
- 当前专利权人地址: 北京市石景山区玉泉路19号(甲)
- 代理机构: 北京华谊知识产权代理有限公司
- 代理商 刘月娥
- 主分类号: H05H1/42
- IPC分类号: H05H1/42 ; C30B29/04 ; C30B25/00
摘要:
一种单晶金刚石的层流等离子体的制备方法,属于单晶金刚石制备技术领域。通过调控等离子体的流体特性,构建出稳定的层流等离子体边界层,使单晶金刚石能够在大尺寸衬底上进行稳定生长。从而避免当前直流等离子体沉积单晶金刚石的多晶化和小尺寸衬底的问题。优点在于提供了一条适合采用大尺寸籽晶、稳定制备单晶金刚石的途径,使单晶金刚石稳定生长区尺寸在等离子体运动轴线方向达到7厘米,并有效抑制了单晶生长表面的多晶化。
公开/授权文献
- CN102230216A 单晶金刚石的层流等离子体的制备方法 公开/授权日:2011-11-02
IPC分类: