发明授权
CN102231358B 二极管硅片上色装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 二极管硅片上色装置
- 专利标题（英）： Device for coloring diode silicon wafer
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申请号： CN201110144534.8申请日： 2011-05-31
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公开(公告)号： CN102231358B公开(公告)日： 2013-05-08
- 发明人: 徐谦 , 庄娟梅 , 王海燕
- 申请人： 常州佳讯光电产业发展有限公司 , 常州久和电子有限公司
- 申请人地址： 江苏省常州市新北区镜湖路8号
- 专利权人： 常州佳讯光电产业发展有限公司,常州久和电子有限公司
- 当前专利权人： 常州佳讯光电产业发展有限公司,常州久和电子有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省常州市新北区镜湖路8号
- 代理机构： 常州市维益专利事务所
- 代理商 何学成
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/329
摘要：
本发明公开了一种二极管硅片上色装置，其包括转盘、转盘驱动装置、硅片真空吸盘以及墨盒，硅片真空吸盘设置于转盘上，硅片真空吸盘上设置有通孔，转盘中设置有空腔，硅片真空吸盘上的通孔与该空腔贯通，空腔的气阀接口连接吸气装置，所述的墨盒设置于硅片真空吸盘的上方，其下表面设置有用于对二极管硅片上色的海绵。本发明的二极管硅片上色装置上色效率高，而且上色均匀，节约墨，不会造成工作环境的污染。
公开/授权文献
- CN102231358A 二极管硅片上色装置 公开/授权日：2011-11-02
IPC分类:
