发明授权
- 专利标题: 薄膜型太阳能电池表面自对准电极的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing self aligned electrode on surface of thin-film type solar battery
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申请号: CN201110193085.6申请日: 2011-07-11
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公开(公告)号: CN102231411B公开(公告)日: 2012-09-19
- 发明人: 李玉飞 , 肖旭东 , 杨春雷 , 宋秋明
- 申请人: 中国科学院深圳先进技术研究院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 专利权人: 中国科学院深圳先进技术研究院
- 当前专利权人: 珠海中科先进技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 吴平
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明涉及一种薄膜型太阳能电池表面自对准电极的制造方法,在衬底上依次制作形成金属背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻层及导电窗口层,并在相应位置开设沟槽,可以得到串联设置的太阳能电池组件。通过采用电镀工艺在第二沟槽的槽底电镀一层用于降低第二沟槽高宽比的金属层,从而使透明电极层更加均匀,电子运输时损耗更小。第二沟槽的槽底为金属背电极层,而采用电镀工艺,可以在直接在槽底的金属背电极层上形成金属层,避免在窗口层等位置也引入金属层而影响太阳能电池的效率。
公开/授权文献
- CN102231411A 薄膜型太阳能电池表面自对准电极的制造方法 公开/授权日:2011-11-02
IPC分类: