Invention Grant
- Patent Title: 光刻设备和制造物品的方法
- Patent Title (English): Lithographic apparatus and method of manufacturing article
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Application No.: CN201110103590.7Application Date: 2011-04-25
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Publication No.: CN102236265BPublication Date: 2014-01-29
- Inventor: 森坚一郎
- Applicant: 佳能株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 魏小薇
- Priority: 2010-104232 2010.04.28 JP
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20
Abstract:
本发明涉及光刻设备和制造物品的方法，该光刻设备包括：遮光板，该遮光板在其边缘上包括与圆形边界线重叠的弧形，该圆形边界线限定要将该图案转印到其上的区域，并且，该圆形边界线位于基板的外周的内侧，所述遮光板阻挡光以防止该光入射到位于圆形边界线的外侧的外周区域上；第一驱动单元，围绕与照射系统的光学轴平行的轴旋转所述遮光板；以及第二驱动单元，在垂直于光学轴的平面内线性驱动所述遮光板。
Public/Granted literature
- CN102236265A 光刻设备和制造物品的方法 Public/Granted day:2011-11-09
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IPC分类:
