• 专利标题: 用锡诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法
  • 专利标题(英): Method for inducing amorphous silicon film with tin to be crystallized into polycrystalline silicon film
  • 申请号: CN201110116134.6
    申请日: 2011-05-06
  • 公开(公告)号: CN102243991A
    公开(公告)日: 2011-11-16
  • 发明人: 孙杰史伟民
  • 申请人: 上海大学
  • 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
  • 专利权人: 上海大学
  • 当前专利权人: 上海大学
  • 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
  • 代理机构: 上海上大专利事务所
  • 代理商 顾勇华
  • 主分类号: H01L21/20
  • IPC分类号: H01L21/20 H01L21/02
用锡诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法
摘要:
本发明涉及一种制备多晶硅薄膜的方法,具体的说就是利用金属锡在低温下诱导非晶硅薄膜晶化为多晶硅薄膜的方法。本发明方法的主要技术方案:1、对玻璃衬底用丙酮和去离子水分别进行超声波清洗,使玻璃衬底清洁;2、在玻璃衬底上用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)生长一层非晶硅(a-Si:H)薄膜,沉积时衬底温度为200℃左后,薄膜厚度为200nm-300nm;3、在非晶硅薄膜上用物理气相沉积法生长一层金属锡(Sn)薄膜,厚度为10nm-20nm,得到衬底/(a-Si:H)/Sn结构;4、将衬底/(a-Si:H)/Sn叠层置于热处理炉中,在450℃下热处理1小时以上自然冷却,退火全过程通入氮气(N2)作为保护气体;5、用浓盐酸溶液(浓度为37.5%)来除去表面残留的金属锡,最后制得锡诱导晶化的多晶硅薄膜,晶粒大小约为70-200nm。本发明适用于薄膜场效应晶体管(TFT)和太阳能电池领域。
公开/授权文献
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