发明公开
- 专利标题: 具有SLID粘结连接的两个衬底的装置和用于制造这种装置的方法
- 专利标题(英): Arrangement of two substrates having a SLID bond and method for producing such an arrangement
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申请号: CN200980149068.3申请日: 2009-10-19
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公开(公告)号: CN102245498A公开(公告)日: 2011-11-16
- 发明人: A.特劳特曼 , A.法伊
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 李永波; 梁冰
- 优先权: 102008054415.9 2008.12.09 DE
- 国际申请: PCT/EP2009/063675 2009.10.19
- 国际公布: WO2010/066494 DE 2010.06.17
- 进入国家日期: 2011-06-08
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
本发明涉及一种具有第一(5)和第二衬底(10)的装置(1),其中两个衬底(5,10)借助于SLID(固液相互扩散)粘结连接(15)相互连接。SLID粘结连接(15)包括第一金属材料和第二金属材料,其中SLID粘结连接(15)包括金属间Al/Sn相(15c)。本发明此外还涉及一种用于制造这种装置(1)的方法。