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MEMS可动电极式火花隙开关
摘要:
一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关,包括:可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底,其中:可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接,微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接,固定电极与可动电极相对放置且均设置于绝缘衬底的同一侧。本发明所需的工作能量小,能够减小对微驱动结构触发电容的能量要求,触发电容体积能够大幅度减小,从而降低使用成本和系统体积,便于一体化集成。
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