发明授权
CN102290708B MEMS可动电极式火花隙开关
失效 - 权利终止
- 专利标题： MEMS可动电极式火花隙开关
- 专利标题（英）： Micro-electromechanical system (MEMS) movable electrode-type spark gap switch
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申请号： CN201110110265.3申请日： 2011-04-29
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公开(公告)号： CN102290708B公开(公告)日： 2013-03-27
- 发明人: 丁桂甫 , 沈慧 , 杨卓青 , 周镇威
- 申请人： 上海交通大学
- 申请人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人： 上海交通大学
- 当前专利权人： 上海交通大学
- 当前专利权人地址： 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构： 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 郭国中
- 主分类号： H03K17/945
- IPC分类号： H03K17/945
摘要：
一种微机电系统技术领域的MEMS可动电极式火花隙开关，包括：可动电极、固定电极、微驱动结构和绝缘衬底，其中：可动电极和固定电极均与绝缘衬底固定连接，微驱动结构与绝缘衬底、可动电极或者分别与绝缘衬底和可动电极固定连接，固定电极与可动电极相对放置且均设置于绝缘衬底的同一侧。本发明所需的工作能量小，能够减小对微驱动结构触发电容的能量要求，触发电容体积能够大幅度减小，从而降低使用成本和系统体积，便于一体化集成。
公开/授权文献
- CN102290708A MEMS可动电极式火花隙开关 公开/授权日：2011-12-21
IPC分类:
