发明公开
CN102325722A 用于生产氯硅烷的方法和装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 用于生产氯硅烷的方法和装置
- 专利标题(英): Method and apparatus for the production of chlorosilanes
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申请号: CN200980157368.6申请日: 2009-12-23
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公开(公告)号: CN102325722A公开(公告)日: 2012-01-18
- 发明人: 彼得·多德 , 阿塔纳西奥斯·汤姆·巴尔科斯 , 杰弗里·道金斯
- 申请人: 阿里斯技术公司
- 申请人地址: 加拿大安大略
- 专利权人: 阿里斯技术公司
- 当前专利权人: 阿里斯技术公司
- 当前专利权人地址: 加拿大安大略
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 李丙林; 张英
- 优先权: PCT/US2008/13996 2008.12.23 US
- 国际申请: PCT/CA2009/001905 2009.12.23
- 国际公布: WO2010/078644 EN 2010.07.15
- 进入国家日期: 2011-08-23
- 主分类号: C01B33/021
- IPC分类号: C01B33/021 ; B01J8/02 ; C01B33/107
摘要:
本发明涉及用于生产氯硅烷(主要为三氯硅烷)和从这些氯硅烷沉积高纯度多晶硅的方法和有关材料。用于氯硅烷生产的来源包括共晶或亚共晶铜-硅,所述铜-硅的浓度范围为10wt%至16wt%硅。将共晶或亚共晶铜-硅浇铸成适合于氯化反应器的形状,在氯化反应器它暴露于工艺气体,该工艺气体至少部分地由HCl组成。气体在共晶或亚共晶铜-硅的表面进行反应并以挥发性氯硅烷的形式提取硅。其后可以以致补充所提取的硅量并将材料重铸成所期望的材料形状的方式再循环利用废弃的共晶或亚共晶材料。