Invention Grant
- Patent Title: 一种场发射电子源的单晶钨丝的交流电化学腐蚀方法
- Patent Title (English): Alternating-current electrochemical corrosion method of field emission electron source
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Application No.: CN201110299640.3Application Date: 2011-09-30
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Publication No.: CN102339704BPublication Date: 2014-03-26
- Inventor: 徐军 , 袁明艺 , 王朋博
- Applicant: 北京大学
- Applicant Address: 北京市海淀区颐和园路5号
- Assignee: 北京大学
- Current Assignee: 北京大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区颐和园路5号
- Agency: 北京万象新悦知识产权代理事务所
- Agent 贾晓玲
- Main IPC: H01J9/02
- IPC: H01J9/02 ; C25F3/26
Abstract:
本发明公开了一种场发射电子源的单晶钨丝的交流电化学腐蚀方法。本发明的电化学腐蚀方法采用了交流信号源以及一定比例的碱性溶液构成一种新的电化学解腐蚀方法，这种方法通过控制单晶钨丝浸入腐蚀液液面的深度、腐蚀液的浓度、电压的幅值、信号的频率等参数优化腐蚀条件，获得腐蚀的最佳工艺参数，从而获得理想的针尖形状。这种腐蚀方法的优点是：操控简单，控制精确，稳定性好，一旦获得最佳条件，其成功率可以达到95％以上。
Public/Granted literature
- CN102339704A 一种场发射电子源的单晶钨丝的交流电化学腐蚀方法 Public/Granted day:2012-02-01
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