无胶封装的高稳定性光纤法-珀压力传感器及制作方法
Abstract:
无胶封装的高稳定性光纤法布里-珀罗压力传感器及制作方法。传感器包括传感器头、中间带有通孔的传感器体和光纤,传感器头采用四层结构(第一单晶硅片、第一Pyrex玻璃片、第二单晶硅片和第二Pyrex玻璃片)。第一单晶硅片后表面构成法布里-珀罗腔的第一个反射面,第二单晶硅片用于提供法布里-珀罗腔的第二个反射面;第二Pyrex玻璃片与传感器体熔接。光纤采用CO2激光器固定在传感器体中,从而实现无胶封装。当外界压力变化致使第一层单晶硅片变形时,将改变光纤法珀腔的长度,当接入宽带光源后,通过对传感器的反射光谱采集或者低相干干涉条纹的提取,可提取出腔长变化,从而获取压力信息。本结构可有效消除温度、湿度等环境变化的影响,大大提升测量精度。
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