发明公开
- 专利标题: 离子检测装置
- 专利标题(英): Ion detector
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申请号: CN201110220208.0申请日: 2011-07-29
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公开(公告)号: CN102385064A公开(公告)日: 2012-03-21
- 发明人: 小谷政弘 , 大村孝幸 , 须山本比吕 , 小林浩之
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 2010-170608 2010.07.29 JP; 2011-148871 2011.07.05 JP
- 主分类号: G01T1/28
- IPC分类号: G01T1/28
摘要:
本发明的离子检测装置(1),具备设置有使正离子以及负离子进入的离子进入口(3)的腔室(2)、配置于腔室(2)内并被施加负电位的转换倍增极(8)、配置于腔室(2)内并具有与转换倍增极(8)相对并且入射从转换倍增极(8)释放的二次电子的电子入射面(11a)的闪烁器(11)、形成于电子入射面(11a)并被施加正电位的导电层(13)、以及检测对应于二次电子的入射而由闪烁器(11)发出的光的光电倍增管(15)。
公开/授权文献
- CN102385064B 离子检测装置 公开/授权日:2016-04-06