发明授权
- 专利标题： 一种基于纳米压电纤维的压力传感器
- 专利标题（英）： Pressure sensor based on nano-piezoelectric fiber
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申请号： CN201110343031.3申请日： 2011-11-03
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公开(公告)号： CN102393264B公开(公告)日： 2013-07-24
- 发明人: 王凌云 , 苏源哲 , 杜晓辉 , 占瞻 , 孙道恒
- 申请人： 厦门大学
- 申请人地址： 福建省厦门市思明南路422号
- 专利权人： 厦门大学
- 当前专利权人： 厦门大学
- 当前专利权人地址： 福建省厦门市思明南路422号
- 代理机构： 厦门南强之路专利事务所
- 代理商 马应森
- 主分类号： G01L1/18
- IPC分类号： G01L1/18
摘要：
一种基于纳米压电纤维的压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种灵敏度较高的基于纳米压电纤维的压力传感器。设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维；所述硼掺杂层设于硅基底的上表面，硼掺杂层与硅基底连为一体，硅基底内设有空腔，二氧化硅薄膜生长在硅基底无空腔的一侧，2个金属电极固定在二氧化硅薄膜上，PVDF纳米压电纤维直接写在2个金属电极之间，PVDF纳米压电纤维与金属电极之间形成欧姆接触。
公开/授权文献
- CN102393264A 一种基于纳米压电纤维的压力传感器 公开/授权日：2012-03-28
