用于处理平面处理物的方法和设备以及用于去除或挡住处理液的装置
摘要:
为了将处理液(21)从在用于对处理物(10)湿化学处理的设备中输送的平面处理物(10)去除,设置用于止回处理液(21)的止回面(4,14)。止回面(4,14)相对于处理物(10)的输送路径设置,使得在处理物(10)经过止回面(4,14)时在止回面(4,14)与处理物(10)的与止回面(4,14)对置的表面之间留有间隙(8,18)。止回面(4,14)例如可以设置为辊(2,3)的外壳面的偏置的区段。
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