• 专利标题: 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
  • 专利标题(英): Insulated gate bipolar transistor(igbt) and method for manufacturing same
  • 申请号: CN201180002477.8
    申请日: 2011-07-11
  • 公开(公告)号: CN102439725A
    公开(公告)日: 2012-05-02
  • 发明人: 张斌韩雁张世峰胡佳贤
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路388号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路388号
  • 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
  • 代理商 胡红娟
  • 国际申请: PCT/CN2011/077041 2011.07.11
  • 进入国家日期: 2011-12-19
  • 主分类号: H01L29/739
  • IPC分类号: H01L29/739 H01L29/10 H01L21/331
一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
摘要:
提供一种绝缘栅双极型晶体管(IGBT)及其制备方法,该IGBT包括N型基区、P型基区(28)、背P+阳极区(21)、N+阴极区(26)、栅氧化层(24)、阳极(20)、栅电极(25)和阴极(27),所述的N型基区由依次层叠的N+扩散残留层(29)、N-基区(23)和N+缓冲层(22)组成,所述的N+扩散残留层(29)和N+缓冲层(22)从与N-基区(23)的边界起始向外掺杂浓度逐渐增加。IGBT在N-基区(23)正面设置N+扩散残留层(29),提高了N型正面的离子掺杂浓度,降低了结型场效应晶体管(JEFT)电阻的影响,从而有效降低IGBT的导通压降,同时对IGBT的正向阻断电压(耐压)的影响降低到最小。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/739 .....受场效应控制的
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