发明公开
CN102439725A 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
- 专利标题(英): Insulated gate bipolar transistor(igbt) and method for manufacturing same
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申请号: CN201180002477.8申请日: 2011-07-11
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公开(公告)号: CN102439725A公开(公告)日: 2012-05-02
- 发明人: 张斌 , 韩雁 , 张世峰 , 胡佳贤
- 申请人: 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路388号
- 专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路388号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理商 胡红娟
- 国际申请: PCT/CN2011/077041 2011.07.11
- 进入国家日期: 2011-12-19
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/10 ; H01L21/331
摘要:
提供一种绝缘栅双极型晶体管(IGBT)及其制备方法,该IGBT包括N型基区、P型基区(28)、背P+阳极区(21)、N+阴极区(26)、栅氧化层(24)、阳极(20)、栅电极(25)和阴极(27),所述的N型基区由依次层叠的N+扩散残留层(29)、N-基区(23)和N+缓冲层(22)组成,所述的N+扩散残留层(29)和N+缓冲层(22)从与N-基区(23)的边界起始向外掺杂浓度逐渐增加。IGBT在N-基区(23)正面设置N+扩散残留层(29),提高了N型正面的离子掺杂浓度,降低了结型场效应晶体管(JEFT)电阻的影响,从而有效降低IGBT的导通压降,同时对IGBT的正向阻断电压(耐压)的影响降低到最小。
公开/授权文献
- CN102439725B 一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法 公开/授权日:2013-10-02
IPC分类: