发明授权
- 专利标题: 对电镀添加剂的监视
- 专利标题(英): Monitoring of electroplating additives
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申请号: CN201080034658.4申请日: 2010-07-29
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公开(公告)号: CN102471919B公开(公告)日: 2014-11-05
- 发明人: 马克·J·威利 , 郭廉 , 史蒂文·T·迈尔
- 申请人: 诺发系统有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 诺发系统有限公司
- 当前专利权人: 诺发系统有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 沈锦华
- 优先权: 12/462,354 2009.08.03 US
- 国际申请: PCT/US2010/043764 2010.07.29
- 国际公布: WO2011/017197 EN 2011.02.10
- 进入国家日期: 2012-02-03
- 主分类号: C25D21/14
- IPC分类号: C25D21/14 ; C25D21/12 ; C25D21/18 ; C25D17/00
摘要:
本发明揭示通过在施加负电位的同时使具有预调节剂物质的预调节电镀溶液流动穿过流通式电解检测池的流动通道来预调节所述流动通道中的工作电极。将液体穿过所述流动通道的流动从预调节溶液快速地转换成含有待测量的有机目标溶质的目标溶液。通过在初始瞬变时间周期期间测量电流密度来检测由所述工作电极暴露于有机目标溶质引起的系统的瞬变响应。通过将所述瞬变响应与已知浓度所特有的一个或一个以上瞬变响应进行比较来确定目标溶质的未知浓度。优选测量系统可操作以在约200毫秒或更短时间内将流动从预调节溶液转换成目标溶液。
公开/授权文献
- CN102471919A 对电镀添加剂的监视 公开/授权日:2012-05-23