具有低响应时间和高灵敏度的热流量传感器集成电路
Abstract:
一种用于基于温度测量感测流体通道内的流动的热流量传感器集成电路,所述集成电路包括在所述集成电路的前侧被布置成面向所述通道的温度感测元件(30);以及被电连接到温度感测元件的接合焊盘(60,200),用于与集成电路形成电接触,所述接合焊盘被布置成背离所述通道朝向。通过使接合焊盘背离所述通道朝向,用于接合焊盘和到接合焊盘的任何连接所需要的空间不需要延伸到温度感测件之外以及妨碍流体通道。因此温度感测元件可以位于更接近于通道或在通道内,使得能够以更好的响应时间和灵敏度来测量。
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