发明授权
- 专利标题: 阵列基板及其制造方法和电子纸显示器
- 专利标题(英): Array substrate, manufacturing method thereof and electronic paper display device
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申请号: CN201010577854.8申请日: 2010-12-02
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公开(公告)号: CN102487041B公开(公告)日: 2014-07-23
- 发明人: 李文波 , 张卓 , 马占洁 , 王刚
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静
- 主分类号: H01L21/77
- IPC分类号: H01L21/77 ; H01L29/786 ; H01L27/12 ; G02F1/167
摘要:
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法和电子纸显示器,方法包括:在第一衬底基板上沉积源漏金属薄膜和掺杂半导体层薄膜,通过构图工艺形成包括掺杂半导体层、源电极、漏电极和数据线的图案;再沉积半导体层薄膜,通过构图工艺形成包括半导体层的图案;再沉积栅绝缘层薄膜和栅金属薄膜,通过构图工艺形成包括栅绝缘层、栅电极和栅线的图案;再沉积栅极保护层薄膜,通过构图工艺形成包括栅极保护层和过孔的图案;最后沉积像素电极薄膜,通过构图工艺形成包括像素电极的图案;像素电极通过过孔与漏电极连接。本发明技术方案采用顶栅式结构以遮挡环境光对TFT沟道的照射,降低了漏电流对阵列基板显示性能的影响,提高了阵列基板的显示质量。
公开/授权文献
- CN102487041A 阵列基板及其制造方法和电子纸显示器 公开/授权日:2012-06-06
IPC分类: