阵列基板及其制造方法和电子纸显示器
摘要:
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法和电子纸显示器,方法包括:在第一衬底基板上沉积源漏金属薄膜和掺杂半导体层薄膜,通过构图工艺形成包括掺杂半导体层、源电极、漏电极和数据线的图案;再沉积半导体层薄膜,通过构图工艺形成包括半导体层的图案;再沉积栅绝缘层薄膜和栅金属薄膜,通过构图工艺形成包括栅绝缘层、栅电极和栅线的图案;再沉积栅极保护层薄膜,通过构图工艺形成包括栅极保护层和过孔的图案;最后沉积像素电极薄膜,通过构图工艺形成包括像素电极的图案;像素电极通过过孔与漏电极连接。本发明技术方案采用顶栅式结构以遮挡环境光对TFT沟道的照射,降低了漏电流对阵列基板显示性能的影响,提高了阵列基板的显示质量。
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