发明授权
CN102489468B 一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法
- 专利标题（英）： Method for cleaning silicon nitride on surface layer of graphite base plate
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申请号： CN201110439202.2申请日： 2011-12-23
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公开(公告)号： CN102489468B公开(公告)日： 2015-06-24
- 发明人: 赵强 , 李龙
- 申请人： 保定天威英利新能源有限公司
- 申请人地址： 河北省保定市高开区复兴中路3055号
- 专利权人： 保定天威英利新能源有限公司
- 当前专利权人： 保定天威英利新能源有限公司
- 当前专利权人地址： 河北省保定市高开区复兴中路3055号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 逯长明
- 主分类号： B08B3/04
- IPC分类号： B08B3/04 ; B08B3/08
摘要：
本发明实施例公开了一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法，包括：在清洗槽内采用氢氟酸溶液对表层覆有氮化硅的石墨材质基板进行清洗，直至去除石墨材质基板表层的氮化硅。本发明所提供的方法采用化学方法去除氮化硅，即：利用氢氟酸与氮化硅的化学反应来清洗氮化硅，由于氢氟酸不与石墨发生反应，所以不会对石墨材质的基板造成影响，保持了基板原有的物理性质，不会降低基板的使用寿命。
公开/授权文献
- CN102489468A 一种石墨材质基板表层氮化硅的清洗方法 公开/授权日：2012-06-13
IPC分类:
