一种TiAlN涂层的热处理方法
摘要:
本发明涉及一种对物理气相沉积涂层的热处理方法,特别是指一种TiAlN涂层的热处理方法,具体是:将TiAlN涂层置于保护气氛中进行热处理,其中控制加热温度为910~990℃,加热保温时间为125~160min。本发明工艺方法简单、硬化效果明显,将热处理方法引入到TiAlN涂层领域,通过严格控制热处理的加热温度及加热保温时间,使c-TiAlN涂层热处理时发生调幅分解仅析出纳米尺寸的c-TiN和c-AlN,析出相和母相之间由于点阵常数的差别产生应变场,阻止位错的运动,从而提高涂层的硬度,达到硬化的目的。
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