一种铸锭用石英坩埚及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种铸锭用石英坩埚及其制备方法,涉及了多晶硅铸锭的石英坩埚和制备方法。其步骤为(1)配制氮化硅浆料:将质量分数为30-55%的氮化硅粉,质量分数为1-10%的有机粘结剂,质量分数为0-1%的抗氧化剂,质量分数为35-69%的纯水混合均匀后,加热到40-100°C;(2)喷涂:采用喷涂工艺将悬浮液喷坩埚表面,将喷涂好的坩埚继续在80-100°C条件下继续进行涂层固化1-2小时,然后冷却至室温。加入有机粘结剂,与坩埚表面吸附性更好,不易遭到破坏;不需要进行高温烧结,降低石英坩埚和涂层氧化污染,降低能耗。
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