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一种温度敏感窄带通滤光片
摘要:
本发明提供了一种温度敏感窄带通滤光片,其特征在于:它首次将二氧化钒薄膜作为微腔层构建其中,包括由上至下依次层叠的顶层有序薄膜系、缺陷层薄膜和底层有序薄膜系,其中,缺陷层薄膜为二氧化钒薄膜,顶层有序薄膜系与底层有序薄膜系的层叠结构以缺陷层薄膜为对称轴上下对称分布。本发明膜系可应用于针对某一窄带宽范围,可规避其他波段光线的干扰,并且大大提高了滤光片的使用时效。与传统介质滤光片相比,本发明膜系具有对温度敏感这一特点。经过对两边对称膜系厚度及缺陷层厚度设计,可将对称膜系厚度减薄,从而在工艺上减少了加工时间。
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