压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法
摘要:
本发明提供了压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法。本说明书表述了用于纳米图案化的方法,通过在一个制造工艺中并入一个或多个块聚合物以及一个或多个纳米压印步骤。嵌段共聚物可以包含有机或有机成分,并且可以是片状的、球型的或者圆柱的。结果,形成图案化的媒介,具有5-100nm的特征间距和/或至少1Tdpsi位密度的一维或者两维图案。
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