发明公开
CN102540702A 压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法
- 专利标题(英): System and method for imprint-guided block copolymer nano-patterning
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申请号: CN201110461878.1申请日: 2011-11-16
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公开(公告)号: CN102540702A公开(公告)日: 2012-07-04
- 发明人: S·肖 , R·J·M·范德维尔冬克 , K·Y·李 , D·郭 , X·杨 , W·胡
- 申请人: 希捷科技有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 希捷科技有限公司
- 当前专利权人: 希捷科技有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 刘佳
- 优先权: 12/957,196 2010.11.30 US
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; G03F7/004
摘要:
本发明提供了压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法。本说明书表述了用于纳米图案化的方法,通过在一个制造工艺中并入一个或多个块聚合物以及一个或多个纳米压印步骤。嵌段共聚物可以包含有机或有机成分,并且可以是片状的、球型的或者圆柱的。结果,形成图案化的媒介,具有5-100nm的特征间距和/或至少1Tdpsi位密度的一维或者两维图案。
公开/授权文献
- CN102540702B 压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法 公开/授权日:2017-04-12