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公开(公告)号：CN102540702B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201110461878.1
申请日：2011-11-16
申请人： 希捷科技有限公司
CPC分类号： B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B81C2201/0153 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855
摘要： 本发明提供了压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法。本说明书表述了用于纳米图案化的方法，通过在一个制造工艺中并入一个或多个块聚合物以及一个或多个纳米压印步骤。嵌段共聚物可以包含有机或有机成分，并且可以是片状的、球型的或者圆柱的。结果，形成图案化的媒介，具有5‑100nm的特征间距和/或至少1Tdpsi位密度的一维或者两维图案。
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公开(公告)号：CN103118855A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180045488.4
申请日：2011-07-19
申请人： 希捷科技有限公司
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 一种热压印平板印刷的方法和系统，包括使压印机抵靠待压印表面运动，向加热材料层供给能量，并在待压印表面内形成特征。压印机包括主体和位于主体下方的加热材料层。在实施例中，对加热材料层进行电加热。在替代的实施例中，对加热材料层进行光加热。
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公开(公告)号：CN102540702A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110461878.1
申请日：2011-11-16
申请人： 希捷科技有限公司
CPC分类号： B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B81C2201/0153 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855
摘要： 本发明提供了压印引导的嵌段共聚物图案化的系统和方法。本说明书表述了用于纳米图案化的方法，通过在一个制造工艺中并入一个或多个块聚合物以及一个或多个纳米压印步骤。嵌段共聚物可以包含有机或有机成分，并且可以是片状的、球型的或者圆柱的。结果，形成图案化的媒介，具有5-100nm的特征间距和/或至少1Tdpsi位密度的一维或者两维图案。
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公开(公告)号：CN101650948A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200910170424.1
申请日：2009-08-17
申请人： 希捷科技有限公司
CPC分类号： G11B5/02 , B82Y10/00 , G11B5/743 , G11B5/746 , G11B2005/0005
摘要： 本发明为用于高精度点布置的改进电子束写入。一种用于磁存储设备的记录系统，包括：用于生成束的束柱、用于相对于束移动磁存储介质的平台以及用于顺序地或以连续交替方式偏转束的信号发生器。进而，根据磁存储介质的范围上的点位移引导束定向，使得在束柱在范围上的单次通过期间多个点编组的点可被写入。
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