发明授权
CN102549468B 光学元件的保持布置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光学元件的保持布置
- 专利标题(英): Holding arrangement for an optical element
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申请号: CN201080044073.0申请日: 2010-07-23
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公开(公告)号: CN102549468B公开(公告)日: 2014-06-11
- 发明人: 乌尔里克.韦伯 , 赫伯特.霍尔德尔
- 申请人: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址: 德国上科亨
- 专利权人: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司,卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司,卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国上科亨
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邱军
- 优先权: 102009037133.8 2009.07.31 DE
- 国际申请: PCT/EP2010/004514 2010.07.23
- 国际公布: WO2011/012263 EN 2011.02.03
- 进入国家日期: 2012-03-31
- 主分类号: G02B7/00
- IPC分类号: G02B7/00 ; G02B7/02 ; G03F7/20 ; H01L21/20
摘要:
本发明涉及光学元件的保持布置,该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4),光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上,所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交,所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51,52),所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称,至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。
公开/授权文献
- CN102549468A 光学元件的保持布置 公开/授权日:2012-07-04
IPC分类:
G | 物理 |
G02 | 光学 |
G02B | 光学元件、系统或仪器 |
G02B7/00 | 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接 |