本发明提供一种易于进行装置的组装、维护的液处理装置。用于对基板(W)进行液处理的多个液处理单元(2)彼此横向排列配置，用于将液处理单元(2)内的气氛气体排出的排气管(3)配置为在该多个液处理单元(2)的下侧并沿着由该液处理单元排列而成的列延伸，供液用的流通控制设备组(4)设在上述排气管(3)的下侧。供液用主配管(5)及排液用主配管(6)设为在该流通控制设备组(4)的下侧并沿着由多个液处理单元排列而成的列延伸，多条供液用分支管自上述供液用主配管(5)分支出来，经由上述供液用的流通控制设备(402)与各液处理单元连接，多条排液用分支管自上述排液用主配管(6)分支出来并与各液处理单元连接。