发明公开
CN102569265A 一种掩模板防静电环
无效 - 驳回
- 专利标题： 一种掩模板防静电环
- 专利标题（英）： Mask plate static electricity resisting ring
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申请号： CN201210014991.X申请日： 2012-01-18
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公开(公告)号： CN102569265A公开(公告)日： 2012-07-11
- 发明人: 魏芳 , 阚欢
- 申请人： 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 专利权人： 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人： 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 王敏杰
- 主分类号： H01L23/60
- IPC分类号： H01L23/60
摘要：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模板防静电环。本发明一种掩模板防静电环，通过将掩模板防静电环的拐角内角设置为钝角或圆弧形状，能有效的避免尖端放电，从而保护了掩模板内部的图形不受静电的破坏。