发明授权
- 专利标题： 用于在背侧处理时保护前侧电路的耐划涂层
- 专利标题（英）： Scratch-resistant coatings for protecting front-side circuitry during backside processing
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申请号： CN201080041868.6申请日： 2010-09-15
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公开(公告)号： CN102576680B公开(公告)日： 2015-07-22
- 发明人: K·A·耶斯 , M·M·小戴利 , T·D·弗莱
- 申请人： 布鲁尔科技公司
- 申请人地址： 美国密苏里州
- 专利权人： 布鲁尔科技公司
- 当前专利权人： 布鲁尔科技公司
- 当前专利权人地址： 美国密苏里州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 王颖
- 优先权： 61/242,846 2009.09.16 US
- 国际申请： PCT/US2010/048899 2010.09.15
- 国际公布： WO2011/034897 EN 2011.03.24
- 进入国家日期： 2012-03-16
- 主分类号： H01L21/48
- IPC分类号： H01L21/48 ; C08J5/18 ; C09D125/12
摘要：
用于在提供背侧处理时保护微电机械装置和半导体装置的前侧的耐划涂层，以及使用该耐划涂层的方法。所述涂层为非光敏性、可去除的涂层，能耐受高处理温度。这些涂层还使得在装置设计中可以取消独立的蚀刻停止层。所述涂层由包含溶解或分散在溶剂体系中的组分的组合物形成。该组分选自苯乙烯-丙烯腈共聚物和芳族砜聚合物。
公开/授权文献
- CN102576680A 用于在背侧处理时保护前侧电路的耐划涂层 公开/授权日：2012-07-11
IPC分类:
