发明授权
- 专利标题: 一种非挥发性存储器件的编程方法
- 专利标题(英): Programming method of non-volatile memory device
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申请号: CN201110022638.1申请日: 2011-01-20
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公开(公告)号: CN102610277B公开(公告)日: 2015-02-04
- 发明人: 霍宗亮 , 姜丹丹 , 刘明 , 张满红 , 王琴 , 刘璟 , 李冬梅
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 宁夏储芯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 王建国
- 主分类号: G11C16/10
- IPC分类号: G11C16/10
摘要:
本发明公开了一种非挥发性存储器件的编程方法,属于非挥发性存储器技术领域。所述存储器件为堆栈栅非挥发性存储器件时,所述方法包括如下步骤:在编程时刻前,于非挥发性存储器件的漏极和/或源极,施加预定脉冲宽度和电压的负脉冲;于编程时刻,在栅极和漏极,或栅极和源极施加脉冲宽度相同的正向同步脉冲。本发明通过扩大热电子注入编程时电子注入区域的范围,增加注入电子的数量,从而提高电子的注入效率,使得存储窗口增大。同时,扩大的注入范围,可以有效降低电子窄范围注入时对隧穿介质层带来的损坏,提高非挥发性存储器的可靠性,延长电荷在存储层中的保持时间以及增加存储其编程/擦除的次数。
公开/授权文献
- CN102610277A 一种非挥发性存储器件的编程方法 公开/授权日:2012-07-25