一种非挥发性存储器件的编程方法
摘要:
本发明公开了一种非挥发性存储器件的编程方法,属于非挥发性存储器技术领域。所述存储器件为堆栈栅非挥发性存储器件时,所述方法包括如下步骤:在编程时刻前,于非挥发性存储器件的漏极和/或源极,施加预定脉冲宽度和电压的负脉冲;于编程时刻,在栅极和漏极,或栅极和源极施加脉冲宽度相同的正向同步脉冲。本发明通过扩大热电子注入编程时电子注入区域的范围,增加注入电子的数量,从而提高电子的注入效率,使得存储窗口增大。同时,扩大的注入范围,可以有效降低电子窄范围注入时对隧穿介质层带来的损坏,提高非挥发性存储器的可靠性,延长电荷在存储层中的保持时间以及增加存储其编程/擦除的次数。
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