一种连续制备二维纳米薄膜的装置
摘要:
本发明公开了一种连续制备二维纳米薄膜的设备,其特征在于在生产线上依次设置有进料腔室、第一处理腔室、第一平衡腔室、薄膜制备腔室、第二平衡腔室、第二处理腔室和出料腔室;进料腔室、第一处理腔室、薄膜制备腔室、第二处理腔室和出料腔室中至少一个腔室设有加热装置;各腔室之间设有阀门、真空系统和气体管道,样品通过样品传送装置在各腔室之间传输;薄膜制备腔室设有薄膜沉积系统。本发明结构简单、工作可靠,可连续大面积地制备均匀的石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜,适应于产业化制备二维纳米薄膜。
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