发明公开
CN102618827A 一种连续制备二维纳米薄膜的装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种连续制备二维纳米薄膜的装置
- 专利标题(英): Device for continuously preparing two-dimensional nano films
-
申请号: CN201210126021.9申请日: 2012-04-27
-
公开(公告)号: CN102618827A公开(公告)日: 2012-08-01
- 发明人: 徐明生 , 黄文符 , 钟明轶
- 申请人: 徐明生 , 黄文符 , 钟明轶
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市沈河区奉天街369号1#楼5D
- 专利权人: 徐明生,黄文符,钟明轶
- 当前专利权人: 徐明生,黄文符,钟明轶
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市沈河区奉天街369号1#楼5D
- 代理机构: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司
- 代理商 韩辉
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/22 ; C23C16/44
摘要:
本发明公开了一种连续制备二维纳米薄膜的设备,其特征在于在生产线上依次设置有进料腔室、第一处理腔室、第一平衡腔室、薄膜制备腔室、第二平衡腔室、第二处理腔室和出料腔室;进料腔室、第一处理腔室、薄膜制备腔室、第二处理腔室和出料腔室中至少一个腔室设有加热装置;各腔室之间设有阀门、真空系统和气体管道,样品通过样品传送装置在各腔室之间传输;薄膜制备腔室设有薄膜沉积系统。本发明结构简单、工作可靠,可连续大面积地制备均匀的石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜,适应于产业化制备二维纳米薄膜。
IPC分类: