本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法及用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备包括：成像部分，其拍摄可移动台上的工件；深度延伸部分，其对可移动台中不同Z-方向位置处的多个工件图像执行深度延伸，以生成深度延伸图像；主要图像显示部分，其将通过拍摄主要工件获得的深度延伸图像屏幕显示为主要图像；测量位置信息生成部分，其针对主要图像指定待测位置和测量方法，以生成测量位置信息；边沿提取部分，其基于测量位置信息从通过拍摄工件获得的深度延伸图像中提取待测位置的边沿；以及尺寸值计算部分，其基于提取的边沿获得待测位置的尺寸值。