公开(公告)号：CN102628669B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201210022431.9

申请日：2012-02-01

申请人： 株式会社其恩斯

发明人： 川泰孝

IPC分类号： G01B9/00

CPC分类号： G01B11/028 ,  G01B9/04

摘要： 本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法及用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备包括：成像部分，其拍摄可移动台上的工件；深度延伸部分，其对可移动台中不同Z-方向位置处的多个工件图像执行深度延伸，以生成深度延伸图像；主要图像显示部分，其将通过拍摄主要工件获得的深度延伸图像屏幕显示为主要图像；测量位置信息生成部分，其针对主要图像指定待测位置和测量方法，以生成测量位置信息；边沿提取部分，其基于测量位置信息从通过拍摄工件获得的深度延伸图像中提取待测位置的边沿；以及尺寸值计算部分，其基于提取的边沿获得待测位置的尺寸值。

公开(公告)号：CN102628669A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210022431.9

申请日：2012-02-01

申请人： 株式会社其恩斯

发明人： 川泰孝

IPC分类号： G01B9/00

CPC分类号： G01B11/028 ,  G01B9/04

摘要： 本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法及用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备包括：成像部分，其拍摄可移动台上的工件；深度延伸部分，其对可移动台中不同Z-方向位置处的多个工件图像执行深度延伸，以生成深度延伸图像；主要图像显示部分，其将通过拍摄主要工件获得的深度延伸图像屏幕显示为主要图像；测量位置信息生成部分，其针对主要图像指定待测位置和测量方法，以生成测量位置信息；边沿提取部分，其基于测量位置信息从通过拍摄工件获得的深度延伸图像中提取待测位置的边沿；以及尺寸值计算部分，其基于提取的边沿获得待测位置的尺寸值。

公开(公告)号：CN102628670B

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201210022439.5

申请日：2012-02-01

申请人： 株式会社其恩斯

发明人： 川泰孝

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G01B11/028 ,  G01B11/00

摘要： 本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备由如下构成：可移动台；测量设置数据存储部，其保存特征量信息和测量位置信息；低放大率成像部，其以低放大率拍摄工件；工件检测部，其基于特征量信息指定工件在低放大率图像中的位置和姿态；台控制部，其基于所指定的位置和姿态控制可移动台，以使得工件的待测位置保持在高放大率视场内；高放大率成像部，其以高放大率拍摄待测位置；边缘提取部，其从高放大率图像中提取待测位置的边缘；以及尺寸值计算部，其基于所提取的边缘获得待测位置的尺寸值。

公开(公告)号：CN102628670A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210022439.5

申请日：2012-02-01

申请人： 株式会社其恩斯

发明人： 川泰孝

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： G01B11/028 ,  G01B11/00

摘要： 本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备由如下构成：可移动台；测量设置数据存储部，其保存特征量信息和测量位置信息；低放大率成像部，其以低放大率拍摄工件；工件检测部，其基于特征量信息指定工件在低放大率图像中的位置和姿态；台控制部，其基于所指定的位置和姿态控制可移动台，以使得工件的待测位置保持在高放大率视场内；高放大率成像部，其以高放大率拍摄待测位置；边缘提取部，其从高放大率图像中提取待测位置的边缘；以及尺寸值计算部，其基于所提取的边缘获得待测位置的尺寸值。