本发明提供了尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序。尺寸测量设备由如下构成：可移动台；测量设置数据存储部，其保存特征量信息和测量位置信息；低放大率成像部，其以低放大率拍摄工件；工件检测部，其基于特征量信息指定工件在低放大率图像中的位置和姿态；台控制部，其基于所指定的位置和姿态控制可移动台，以使得工件的待测位置保持在高放大率视场内；高放大率成像部，其以高放大率拍摄待测位置；边缘提取部，其从高放大率图像中提取待测位置的边缘；以及尺寸值计算部，其基于所提取的边缘获得待测位置的尺寸值。