本发明公开了一种超细氧化物粉的制造方法，该方法包括如下步骤：将铟盐或锌盐或铝盐或镓盐溶液或这几种金属盐中任意两种或两种以上的混合液与碱性溶液充分混合得到前驱物沉淀；所述碱性溶液为氨水或氢氧化钠或氢氧化钾或碳酸钠或碳酸氢氨溶液；对所述前驱物沉淀用去离子水或蒸馏水清洗过滤，得到含少量水份的前驱物；然后加水稀释，再加入含有羟基或羧基极性基团的有机物进行搅拌，之后静置分层；将静置分层的上层前驱物物料分离出来进行烘干并煅烧得到超细的铟或锌或铝或镓氧化物粉末或者得到这几种金属中任意两种或两种以上氧化物混合物粉末。本发明制备方法成本低，对环境无污染，并且实施过程安全。